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2023-06
挑战之下,丹东半导体设备厂商如何破浪前行?
最近几年,在我国半导体设备企业的努力下,丹东半导体设备不断通过国内产线验证,进入了商业化供货阶段。在国产设备厂商不断地创新与自我超越下,半导体设备国产化的黄金浪潮已然开启。
20
2023-06
厚积薄发-辽宁跻身半导体设备配件产业头部阵营
在东北老工业基地辽宁,以半导体为主业的辽籍上市公司已有5家,若再加上新三板公司中科仪、现有业务囊括半导体装备业务的新松机器人、拟上市企业和研科技等,辽籍半导体设备配件和半导体产业集群已经初具规模。
06
2023-06
丹东离子源配件生产厂家-正芯微电子
丹东离子源配件生产厂家-丹东正芯微电子科技有限公司成立于2006年,位于山川秀美的边境城市辽宁丹东。是一家历史悠久的生产、加工各种半导体工艺设备备品的高新民营企业,是半导体设备国产化的中坚力量。产品应用于美国、日本、台湾等地方的半导体设备国产化备件,并与国产设备厂商密切合作。
06
2023-06
蒸发台坩埚表面容易结块怎么解决
蒸发台钳锅系统是半导体元件硅片生产的重要设备,主要有瓷器和玻璃两种分类,利用电子束加热坩埚中的金属颗粒,使其蒸发撞击到硅片表面。
26
2023-05
蒸发台配件之蒸发台行星锅
蒸发台行星锅做为电子束蒸发台的重要配件之一,随着电力电子技术的高速发展,半导体的应用场景越来的越广阔,而在半导体的制备过程中,为了提高半导体的性能经常需要在基片的背面沉积大面积的金属膜。
26
2023-05
离子源配件之离子源弧光室
离子源弧光室是离子注入机离子源的重要组件。离子注入是现代集成电路制造中的一种非常重要的技术,其利用离子注入机实现半导体的掺杂,即使用钨丝作为阴极发射电子轰击含有特定的杂质元素的气体分子...
17
2023-05
蒸发台配件之行星盘
蒸发台配件中行星盘占了很大的比重。金属化是半导体芯片制造过程中在绝缘介质薄膜上沉积金属薄膜以及随后刻印图形以便形成金属互连金属线和集成电路的孔填充塞的过程,半导体制造设备电子束蒸发台是将待蒸发的材料放置进坩埚,在真空系统中用电子束加热并使其蒸发,撞击到硅片表面凝结形成金属薄膜。
17
2023-05
注入机离子源灯丝是干嘛用的?
注入机离子源灯丝也就是用于离子注入机的钨丝。离子注入机是VLSI制造工艺的关键设备,其运行情况直接影响到IC工艺线的效率。离子注入机的故障率较高,且大部分集中在离子源系统。
10
2023-05
半导体设备配件行业整理
很多人都不太清楚半导体设备配件、模组的分类,每个半导体设备配件分类国产化的情况和难度的排序,下面就让小编来给大家介绍一下。
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2023-05
半导体设备国产化专题-注入机离子源配件
离子注入决定芯片内部结构中器件的基础性能。离子注入属于物理过程,依靠调节剂量、射程、注入角度等三大重要参数,准确控制掺杂并实现数量与质量的可控,通过入射离子与靶材原子的电子阻碍和核阻碍等能量损耗机制达成靶材内的驻留。
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