蒸发台坩埚表面容易结块怎么解决

蒸发台钳锅系统是半导体元件硅片生产的重要设备，主要有瓷器和玻璃两种分类，利用电子束加热坩埚中的金属颗粒，使其蒸发撞击到硅片表面。

造成蒸发台钳锅表面容易结块一般是由于以下几点造成的。

1、坩埚表面没有被清洁干净，有残留的油脂，污垢等；

2、蒸发镀膜温度过高，使得油脂在表面结块；

3、蒸发镀膜溶液中的溶剂浓度过高，使得油脂在表面结块。

大家知道为什么蒸发台钳锅表面容易结块的问题原因后，给大家提供一种有效的解决办法，

1、将坩埚表面清洁干净，去掉残留的油脂、污垢等；

2、将蒸发镀膜温度降低，使得油脂不会在表面结块；

3、将蒸发镀膜溶液中的溶剂浓度降低，使得油脂不会在表面结块。

希望以上方法可以帮助到大家，丹东正芯微电子科技有限公司可按用户要求加工各种蒸发台钳锅，还生产加工上千种电子设备零备件，如扩散炉、刻蚀机、CVD、背银机、减速机、机械泵等，图片未列产品或有特殊需要，详情电话咨询（0415-3196990 ）或邮箱联系（zsunsale@163.com）。