蒸发台配件之蒸发台行星锅

蒸发台行星锅做为电子束蒸发台的重要配件之一，随着电力电子技术的高速发展，半导体的应用场景越来的越广阔，而在半导体的制备过程中，为了提高半导体的性能经常需要在基片的背面沉积大面积的金属膜。

现在，通常利用电子束蒸发台来完成对基片的镀膜工艺。具体的，将待蒸发的镀膜材料放置进坩埚，在真空系统中，利用电子束对镀膜材料进行加热，以使镀膜材料蒸发，镀膜材料蒸发后的分子撞击到基片表面凝结并形成金属薄膜。在这个制备过程中，基片通常被固定在一个蒸发台行星盘结构上，通过旋转行星盘结构，可以使基片的各个角度的金属薄膜厚度均匀。

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