离子源配件之离子源弧光室

离子源弧光室是离子注入机离子源的重要组件。离子注入是现代集成电路制造中的一种非常重要的技术，其利用离子注入机实现半导体的掺杂，即使用钨丝作为阴极发射电子轰击含有特定的杂质元素的气体分子，产生电离的特定杂质原子经静电场加速后打到硅单晶圆片表面，并打入半导体内部，改变导电特性并*终形成晶体管结构。

由于在离子源发生的电子转换为电浆离子时，会产生2000℃以上的工作温度，离子束喷发时，也会产生很大的离子动能，一般金属会很快烧熔，因此需要质量密度较大的惰性金属，以维持离子束喷发方向，并增加组件耐用度，钨钼是必选材料。由于钨钼材料高温化学性质稳定、热变形小和使用寿命长等优点，因此半导体行业离子源弧光室零组件及耗件多采用钨、钼材料制造，这些器件包括发射电子阴极的屏蔽筒、发射面板、中心固定杆、起弧室内的丝极板等，我们统称为离子注入用钨零件和离子注入用钼零件。

丹东正芯微电子科技有限公司可按用户要求加工各种离子源弧光室，我公司加工制作的离子注入用钨零件具有密度高，纯度高，尺寸精度好的特点。还生产加工上千种电子设备零备件，如扩散炉、刻蚀机、CVD、背银机、减速机、机械泵等，图片未列产品或有特殊需要，详情电话咨询（0415-3196990 ）或邮箱联系（zsunsale@163.com）。