爱发科蒸发台配件中真空与控制配件有哪些？

爱发科蒸发台配件中，真空与控制类部件构成了设备运行的两条基础线索：一条负责把腔体抽到工艺所需的本底压力，并维持这一压力环境；另一条负责在成膜过程中对蒸发速率、膜厚和抽气节奏进行干预。从爱发科公开的产品体系来看，真空类配件涵盖真空泵、阀门、真空计与配管部件，控制类配件则包括成膜用电源、膜厚控制器与集中操作面板。两者并不各自独立，真空状态为控制动作提供起始条件，控制信号又反过来作用于泵、阀与电源的开合与输出。

真空配件的第一组是泵与阀门。爱发科小型蒸发设备中，主泵可选用涡轮分子泵或油扩散泵，辅助泵通常为油回转泵。阀门的作用是隔离或导通抽气路径，主阀多采用蝶阀，辅助阀则采用三通阀，不同形式适配不同的管路布局与开合方式。真空计方面，皮拉尼真空计覆盖粗真空段，电离真空计用于高真空段的读数，两者配合覆盖从大气到工艺真空的监测范围。这些真空侧部件在爱发科蒸发台配件的整体构成中承担着建立并维持腔体环境的基础功能。

控制配件的第一组是膜厚控制器与蒸发电源。爱发科CRTM系列石英晶体膜厚控制器用于沉积速率与膜厚的监控，CRTM-6000G等型号可连接晶体传感器，对成膜速率进行控制，并支持多层膜的程序化沉积。蒸发电源则为电阻加热或电子束蒸发提供功率输出，SEREM PSE-150C等型号可与成膜控制器或温度调节计组合使用，形成“检测—反馈—调节”的回路。第二组是集中控制系统，爱发科ei系列等蒸发台可通过操作面板实现抽真空与成膜作业的集中自动化控制，部分系统还支持配方功能与数据记录，使真空配件与控制配件的动作按工艺顺序衔接。爱发科蒸发台配件中的真空与控制部件，正是在这一衔接中各自承担可替换、可维护的功能角色。