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丹东正芯微电子科技有限公司成立于2006年，位于山川秀美的边境城市辽宁丹东。是一家历史悠久的生产、加工各种半导体工艺设备备品的高新民营企业。正芯微电子以客户至上为宗旨，以产品的高质量和高可靠性为目标，以优良的服务为天职。

新闻资讯
  • 爱发科蒸发台配件中电子枪组件的核心作用
    2026-10-08
    爱发科蒸发台配件是适配爱发科ULVAC系列真空蒸发设备的专用配套部件，涵盖蒸发舟、坩埚、行星锅、电子枪组件等多个品类。在半导体薄膜沉积工艺中，爱发科蒸发台配件的各项品类协同运行，而电子枪组件是电子束蒸发系统的核心动力部件。
  • 注入机钨栅的定制化规格与安装结构要求
    2026-10-08
    注入机钨栅的材质纯度、加工精度和结构适配性直接关系到注入机的束流调控效果与运行稳定性。在半导体产线中，不同型号的注入机对钨栅的尺寸接口、安装方式有着各自的要求，标准化的通用件难以覆盖全部机型，因此注入机钨栅的定制化生产与安装适配成为设备运维中需要关注的环节。
  • 蒸发台法兰在真空蒸镀设备中的密封衔接作用
    2026-09-24
    实现模块化部件的密封衔接是蒸发台法兰的核心作用。真空腔体的主体拼接、抽气管路的连通、观察窗的装配，均通过蒸发台法兰配合密封圈完成密闭连接。
  • 刻蚀机等离子体源CCP与ICP的工作原理与适用场景
    2026-09-24
    在干法刻蚀设备中，依据腔室内产生等离子体的方式不同，主要分为容性耦合等离子体（CCP）和电感耦合等离子体（ICP）两类。刻蚀机选择何种等离子体源，需结合待刻蚀材料的特性、刻蚀深度要求以及工艺对选择比与形貌控制的需求综合判断。
  • 丹东半导体设备在晶圆制造薄膜沉积与蚀刻工序中的应用
    2026-09-24
    丹东半导体设备的应用表现直接关联晶圆生产的工艺效率与产品品质。晶圆制造涵盖光刻、蚀刻、薄膜沉积、离子注入等多道精密工序，对设备的工艺适配性、运行稳定性及参数调控能力有着严格要求。
  • 丹东离子源配件中离子注入用钨零件与钼零件的种类
    2026-09-24
    丹东离子源配件涵盖多种采用钨、钼材料制造的精密零件。在离子注入过程中，离子源内部的电子转换为电浆离子时会产生高温，一般金属在高温环境下容易烧熔，因此需要质量密度较大且高温性能稳定的惰性金属来维持离子束喷发方向并增加组件耐用度。
  • 蒸发台坩埚在分子束外延（MBE）系统中的应用
    2026-09-24
    蒸发台坩埚是分子束外延（MBE）系统中盛放高纯度源材料、并通过加热产生分子束的关键容器部件。MBE是一种在超高真空环境下将薄膜生长在基片上的蒸发方法，其核心装置是装有坩埚的热蒸发源。

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