半导体设备配件_注入机离子源配件_注入机离子源灯丝-丹东正芯微电子科技有限公司

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丹东正芯微电子科技有限公司成立于2006年，位于山川秀美的边境城市辽宁丹东。是一家历史悠久的生产、加工各种半导体工艺设备备品的高新民营企业。正芯微电子以客户至上为宗旨，以产品的高质量和高可靠性为目标，以优良的服务为天职。

We always place put our clients first.

以客户至上为宗旨

以产品的高品质和高可靠性为第一目标

以完美的服务为天职

新闻资讯

丹东离子源配件常见零件有哪些
2026-02-05
电极类零件是丹东离子源配件的核心品类之一。常见的有阴极、阳极、栅极等，多选用钨、钼等耐高温金属材质制成，主要作用是引导离子束、维持弧光室放电稳定，减少离子散射，适配不同功率规格的离子源设备，是离子产生与引出的关键零件。
蒸发台坩埚和蒸发皿的区别
2026-02-05
材质与耐高温性能是二者核心区别之一。蒸发台坩埚多选用钨、钼等耐高温合金或高纯陶瓷制成，可耐受上千摄氏度高温，能抵御高熔点材料气化时的高温侵蚀，减少材质损耗与杂质析出；蒸发皿多为石英或普通陶瓷材质，耐高温性能较弱，更适合低熔点材料的简易蒸镀，无法适配高功率蒸镀工况。
蒸发台行星锅常见的载片规格
2026-02-05
小型载片规格适配精密微型基片，是蒸发台行星锅的常用规格之一。常见尺寸涵盖2英寸、4英寸，适配小型半导体芯片、微型光学镜片等基片，这类规格的蒸发台行星锅多采用多工位设计，兼顾批量加工与合理定位，能减少基片在公转自转过程中的偏移，适配高端微型器件的蒸镀需求。
半导体设备行星锅的特点和使用注意事项
2026-02-05
行星锅的使用注意事项需重点关注。首先，需按基片规格调整运动参数，避免超负荷运行导致部件磨损；其次，每次使用后需清洁行星锅表面，清除残留物料与杂质，避免影响后续加工品质；最后，定期检查传动部件与衔接处，及时润滑维护，避免机械故障导致运行异常，延长使用寿命。
离子源弧光室的散热结构
2026-02-05
水冷散热结构是离子源弧光室最常用的散热方式，适配中高功率工况。该结构在弧光室腔壁内置循环水道，通过冷却液持续带走热量，控温效果稳定，能将腔壁温度控制在合理范围，避免高温导致的结构形变，广泛应用于高剂量离子注入等发热量大的场景，兼顾散热效率与结构密封性。