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丹东正芯微电子科技有限公司成立于2006年，位于山川秀美的边境城市辽宁丹东。是一家历史悠久的生产、加工各种半导体工艺设备备品的高新民营企业。正芯微电子以客户至上为宗旨，以产品的高质量和高可靠性为目标，以优良的服务为天职。

新闻资讯
  • 蒸发台行星锅选型中耐高温与化学稳定性材质的考量
    2026-09-20
    在真空蒸发环节，蒸发台行星锅需在高温环境下完成公转与自转运动，同时接触各类蒸发材料及工艺气体，若材质耐温性能不足或与沉积材料发生反应，可能导致部件自身损耗或膜层污染，直接影响制程稳定性与产品良率。
  • 行星锅公转与自转叠加运动对膜层均匀沉积的作用
    2026-09-20
    行星锅通过公转与自转两级旋转的叠加，持续改变粒子入射工件的角度与路径，从而对膜厚分布的均匀性产生调节作用。
  • 离子源弧光室屏蔽高温与等离子体溅射对腔体外围绝缘件的保护作用
    2026-09-19
    离子源弧光室是离子源系统中承载电离反应、生成等离子体的核心腔体组件，其内部长期处于高温等离子体持续轰击的严苛环境。工作气体通入腔体后，配合阴极灯丝发射的热电子与外加电场作用，气体分子在腔内发生碰撞电离，形成等离子体区域。
  • 弧光室钨钼材质在高温等离子体环境下的抗溅射应用
    2026-09-19
    弧光室是离子源系统中承载电离反应、生成等离子体的核心腔体组件，其内部长期处于高温等离子体持续轰击与工艺气体化学侵蚀的严苛环境。工作气体通入腔体后，配合阴极灯丝发射的热电子与外加电场作用，气体分子在腔内发生碰撞电离，形成等离子体区域。
  • 蒸发台配件中蒸发源、坩埚、挡板及传感器的各自作用
    2026-09-19
    蒸发台配件的设计直接影响成膜质量和工艺稳定性。在蒸发台运行过程中，蒸发台配件中的蒸发源负责提供热量使材料气化，坩埚承担盛放和承载蒸发材料的职能，挡板用于控制蒸发材料的通断与扩散方向，传感器则对成膜过程中的关键参数进行监测，四类配件各司其职、相互配合。
  • 注入机离子源灯丝表面有污渍要如何清理
    2026-09-10
    注入机离子源灯丝是离子注入设备中产生热电子的关键部件，其工作环境长期处于高温、高真空和等离子体轰击的复合条件之下。随着使用时间的推移，注入机离子源灯丝表面以及与灯丝电子进入源体相连接的位置会逐渐积累污渍和变色。
  • 离子源灯丝断裂的三大主因：变细、材料缺陷与工艺缺陷
    2026-09-09
    灯丝变细是离子源灯丝断裂最常见的原因。随着离子源运行时间的推移，灯丝在高温下长期工作，材料逐渐挥发，同时受到等离子体中离子的溅射作用，导致灯丝直径逐步减小。

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