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丹东正芯微电子科技有限公司成立于2006年,位于山川秀美的边境城市辽宁丹东。是一家历史悠久的生产、加工各种半导体工艺设备备品的高新民营企业。正芯微电子以客户至上为宗旨,以产品的高质量和高可靠性为目标,以优良的服务为天职。

新闻资讯
  • 支持丹东半导体设备企业加大研发投入,对承担重大研发项目、新建创新平台的企业给予补助;引导企业向产业园区集聚,优化资源配置,推动产业链协同发展,完善配套体系。
  • 丹东离子源配件的生产工艺,首要环节是原材料筛选。依托丹东当地材料供应优势,选用纯度达标、耐高温、抗离子轰击的钨、钼等优质原料,经过严格的杂质检测,剔除不合格原料,为后续加工奠定基础,这也是丹东离子源配件适配严苛工况的重要前提,避免因原料问题影响配件使用寿命。
  • 蒸发台坩埚的材质的选择,是影响真空度的核心因素之一。若蒸发台坩埚采用耐高温性、密封性不足的材质,在高温蒸镀过程中,自身易出现软化、挥发,产生的杂质会释放到真空腔体中,污染真空环境,导致真空度下降...
  • 合理适配传动部件,是提升蒸发台行星锅运度精度的关键。传动电机、齿轮、轴承等部件的适配性,直接决定运度精度,需选用与蒸发台行星锅规格匹配的传动部件,定期检查部件磨损情况,及时更换老化、变形的零件,避免因部件间隙过大或松动,导致蒸发台行星锅运转偏移。
  • 在应用方面,行星锅主要用于半导体晶圆镀膜、芯片电极沉积、光学元件镀膜等核心工序。它可适配不同尺寸的基片,兼容多种镀膜材料,既能满足实验室小批量科研试验需求,也能适配工业规模化生产,拆装便捷且运行稳定,可与各类真空镀膜设备灵活匹配,降低生产调试难度。

离子源弧光室

蒸发台配件

蒸发台坩埚

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