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丹东正芯微电子科技有限公司成立于2006年,位于山川秀美的边境城市辽宁丹东。是一家历史悠久的生产、加工各种半导体工艺设备备品的高新民营企业。正芯微电子以客户至上为宗旨,以产品的高质量和高可靠性为目标,以优良的服务为天职。

新闻资讯
  • 钨钼组件可提升注入机离子源配件的耐高温能力。离子源工作时处于高温放电环境,钨钼材质熔点高、热稳定性佳,能有效抵御电离反应产生的高温侵蚀,避免组件变形、挥发,减少杂质析出污染离子束,维持注入机离子源配件的长期稳定运行,适配高功率离子注入场景。
  • 离子源配件的材质损耗与老化会破坏束流均匀性。灯丝、弧光室等易损耗配件,长期处于高温、强离子轰击环境中,会出现表面磨损、材质挥发等问题,导致电子发射不均、离子电离不稳定,间接影响离子束流的均匀输出,定期更换维护离子源配件可减少这类问题。
  • 注入机离子源的核心作用是实现气体电离,生成目标离子气体。它通过灯丝发射电子,电子与通入的掺杂气体分子碰撞,打破气体分子化学键,使气体电离为等离子体,即离子气体,为后续离子筛选、加速提供基础,是离子产生的核心环节。
  • 半导体设备配件中,电气类配件是支撑半导体设备通电、控电及信号传输的核心组成,适配晶圆制造、芯片封装测试等全流程,直接影响设备运行稳定性与工艺适配性。
  • 丹东半导体设备的应用场景持续拓宽,核心产品适配多领域工艺需求。晶体定向仪等设备广泛应用于硅单晶、蓝宝石晶体加工,助力半导体衬底制备提质增效;离子源及配件适配离子注入机,支撑晶圆掺杂工艺;激光封装设备则服务于半导体器件自动化量产,适配高端光电产品制造,覆盖半导体制造全流程及上下游关联产业。

离子源弧光室

蒸发台配件

蒸发台坩埚

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