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丹东正芯微电子科技有限公司成立于2006年,位于山川秀美的边境城市辽宁丹东。是一家历史悠久的生产、加工各种半导体工艺设备备品的高新民营企业。正芯微电子以客户至上为宗旨,以产品的高质量和高可靠性为目标,以优良的服务为天职。

新闻资讯
  • 行星锅作为真空镀膜、半导体制造等领域的核心辅助部件,其材质选择直接关联使用性能、使用寿命与适配场景,行星锅的常见材质需结合工况需求设计,主要以金属、陶瓷及复合材料为主。
  • 钨的高熔点特性是其能做离子源灯丝的核心原因。离子源灯丝工作时需持续处于高温状态,才能将待电离气体激发为离子,而钨的熔点高达3422℃,可在数千摄氏度的高温环境下保持形态稳定,不易熔化、变形,能长期承受离子源的工作温度,避免因高温损耗影响离子源灯丝的使用周期。
  • 蒸发舟作为真空镀膜、半导体加工等领域的核心耗材,长期处于高温、真空及腐蚀性介质接触的环境中,耐腐蚀性是选择材质的关键指标。在石墨、氮化硼、陶瓷、金属等主流材质中,氮化硼材质与特种陶瓷材质的蒸发舟耐腐蚀性表现更为突出,能适配多种腐蚀性工况。
  • 大口径蒸发台法兰的抗腐蚀性,核心取决于材质选择。常见的耐腐蚀材质包括不锈钢、哈氏合金、钛合金等,其中哈氏合金材质的蒸发台法兰,抗腐蚀性能突出,可耐受强酸、强碱及各类腐蚀性气体,适配高腐蚀性蒸发场景...
  • 技术精度是国产5nm刻蚀机的核心特点,设备可实现亚埃级刻蚀控制,侧壁垂直度达0.01纳米级,刻蚀均匀性保持稳定,适配5nm制程的高深宽比结构加工。

爱发科蒸发台配件

刻蚀机

蒸发台坩埚

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