半导体设备配件_注入机离子源配件_注入机离子源灯丝-丹东正芯微电子科技有限公司

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丹东正芯微电子科技有限公司成立于2006年，位于山川秀美的边境城市辽宁丹东。是一家历史悠久的生产、加工各种半导体工艺设备备品的高新民营企业。正芯微电子以客户至上为宗旨，以产品的高质量和高可靠性为目标，以优良的服务为天职。

We always place put our clients first.

以客户至上为宗旨

以产品的高品质和高可靠性为第一目标

以完美的服务为天职

新闻资讯

丹东半导体设备PVC/CVD设备配件的特点
2026-02-11
丹东半导体设备PVC/CVD设备配件的核心特点的体现在材质与适配性上。PVC配件采用耐腐蚀性强的专用材质，可耐受半导体生产中的各类酸碱介质，材质纯净且金属离子析出率低，契合洁净生产需求，同时重量轻便、安装便捷，便于日常拆装维护。
丹东离子源配件中电子枪的作用
2026-02-11
电子枪的核心作用体现在离子产生与束流调控两大方面，在丹东离子源配件的运行过程中，电子枪通过阴极发射电子，经阳极加速和聚焦机构收敛后，形成密度均匀的电子束，与离子源内的中性粒子发生碰撞，促使中性粒子电离形成所需离子束，为后续加工工艺提供稳定离子源。
电子束蒸发台坩埚组件的清理方法
2026-02-11
清理前需做好预处理，先将蒸发台坩埚组件从设备中平稳取出，放置在干燥、洁净的操作台上，用软毛刷轻轻清扫表面浮尘与松散杂质，避免杂质掉落设备内部造成二次污染。
电子束蒸发台行星锅的结构
2026-02-11
典型的蒸发台行星锅主要由本体、行星轴、驱动连接结构及载片辅助部件构成。本体多为锥筒型结构，锥筒部设有若干均匀分布的圆形通孔，用于安装载片环放置工件，部分型号还配有透气孔、安装孔等功能孔位；行星轴贯穿本体中心，通过转动架与蒸发台支架连接，可实现自转与往复摆动，驱动连接结构通过倾斜连接杆与驱动轴相连，调节本体倾斜角度以提升镀膜包覆性。
半导体行星锅常见型号
2026-02-11
目前市面上半导体行星锅的常见型号，可根据锅体上孔的特性进行明确分类，结合半导体生产工艺需求，主要分为三类，适配不同的加工场景。第一类是多孔均匀分布型行星锅，锅体锥筒部设有若干圆形通孔，且以中心为基准周向均匀排布，孔的数量多为4-8个，适配硅圆基片等半导体工件的批量蒸镀加工，能同时固定多个工件，提升生产效率，这类行星锅也是半导体规模化生产中的常用类型。