半导体设备配件_注入机离子源配件_注入机离子源灯丝-丹东正芯微电子科技有限公司

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丹东正芯微电子科技有限公司成立于2006年，位于山川秀美的边境城市辽宁丹东。是一家历史悠久的生产、加工各种半导体工艺设备备品的高新民营企业。正芯微电子以客户至上为宗旨，以产品的高质量和高可靠性为目标，以优良的服务为天职。

We always place put our clients first.

以客户至上为宗旨

以产品的高品质和高可靠性为第一目标

以完美的服务为天职

新闻资讯

离子源灯丝在真空镀膜设备中常见的应用规格
2026-02-12
目前真空镀膜设备中，离子源灯丝的常见应用规格主要按材质与尺寸划分，核心规格贴合实际生产需求。按材质分类，常见的有钨丝、钽丝、铼钨合金丝三种，其中钨丝材质的离子源灯丝适配中低温镀膜工况，成本适中，是应用最广泛的规格；钽丝材质耐高温性能更优，适配高温真空镀膜场景；铼钨合金丝则兼顾耐高温与抗损耗特性，适配高频运行的镀膜设备。
注入机离子源配件协助注入机获得理想薄膜
2026-02-12
注入机离子源配件通过多组件协同作用，助力注入机获得理想薄膜。核心配件如阴极组件、栅极组件等分工明确，阴极组件产生稳定电子流，辅助工艺气体电离形成合格离子束；栅极组件调节离子束的密度与轨迹，避免离子束偏移导致薄膜厚度不均，确保离子束均匀沉积在工件表面，这些注入机离子源配件的默契配合，为理想薄膜的形成奠定了基础。
离子源配件都有哪些可以应用在蚀刻工艺中
2026-02-12
不同类型的离子源配件分工协作，既支撑离子源产生稳定离子束，也助力蚀刻工艺实现合理的材料去除，离子源配件的适配质量直接关联蚀刻成品的合格率，是蚀刻工艺中不可忽视的关键环节。
注入机离子源在离子注入机中起到什么作用
2026-02-12
注入机离子源的核心作用体现在离子产生与束流调控两大方面，这是离子注入工艺得以实现的核心前提。在离子注入机运行过程中，注入机离子源通过阴极加热、气体电离等流程，将氩气、硼气等工艺气体转化为高活性离子束，再通过相关组件引导至芯片表面，完成芯片掺杂工序，为芯片实现特定电学性能提供支撑。
半导体设备配件中电气类都有哪些
2026-02-12
这些电气类配件虽功能不同，均是半导体设备配件的重要组成，其质量与适配性直接影响设备运行效率，适配各类半导体生产设备的升级与维护需求。