半导体设备配件_注入机离子源配件_注入机离子源灯丝-丹东正芯微电子科技有限公司

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丹东正芯微电子科技有限公司成立于2006年，位于山川秀美的边境城市辽宁丹东。是一家历史悠久的生产、加工各种半导体工艺设备备品的高新民营企业。正芯微电子以客户至上为宗旨，以产品的高质量和高可靠性为目标，以优良的服务为天职。

We always place put our clients first.

以客户至上为宗旨

以产品的高品质和高可靠性为第一目标

以完美的服务为天职

新闻资讯

离子源设备中弧光室的常见结构
2026-01-31
圆柱形是弧光室最常用的造型，适配多数通用离子源设备。该造型受力均匀、密封性佳，能减少离子在腔体内的无序散射，同时便于加工制造、控制成本，可满足中低功率离子源的电离需求，广泛应用于常规晶圆掺杂、材料改性等场景，是性价比突出的弧光室造型。
蒸发台配件中承载蒸发材料的配件有哪些
2026-01-31
坩埚是最核心的承载类蒸发台配件。按材质可分为石英坩埚、陶瓷坩埚、金属坩埚等，石英坩埚适配低熔点材料蒸发，陶瓷坩埚耐受中高温，金属坩埚（如钨、钼材质）适配高熔点金属蒸发，通过合理承载蒸发材料，配合加热组件实现均匀气化，是各类蒸发工艺的基础适配配件。
注入机离子源灯丝涂层后能否增强离子束
2026-01-31
涂层通过降低电子逸出功助力离子束增强，这是注入机离子源灯丝涂层的核心作用。常见的铼、钍等涂层材质，可优化灯丝表面电子发射特性，让电子更易脱离灯丝表面，提升电子发射效率，进而增加等离子体生成量，间接增强离子束密度，适配高剂量离子注入需求。
磁控溅射搭配什么材质的离子源灯丝比较好
2026-01-31
纯钨材质离子源灯丝适配基础磁控溅射场景。钨材质熔点高、机械强度佳，可耐受高温放电工况，且成本适中，适合普通金属、氧化物靶材的溅射，能满足中小规模生产的基础需求，是应用较广泛的离子源灯丝类型之一，但长期高温运行易出现蠕变、断裂问题。
大离子束注入器该如何挑选注入机离子源配件
2026-01-31
优先依据注入器束流需求挑选注入机离子源配件。大离子束注入器侧重高束流输出，需选用适配高电离效率的配件，如大功率灯丝、大容量弧光室，确保离子产出量满足高剂量掺杂需求，避免因配件适配不足导致束流衰减、波动，影响生产效率。