产品分类
产品展示
关于我们

丹东正芯微电子科技有限公司成立于2006年,位于山川秀美的边境城市辽宁丹东。是一家历史悠久的生产、加工各种半导体工艺设备备品的高新民营企业。正芯微电子以客户至上为宗旨,以产品的高质量和高可靠性为目标,以优良的服务为天职。

新闻资讯
  • 蒸发台法兰的尺寸规格是影响其报价的基础变量之一,口径与壁厚的增加会从原材料用量和加工复杂度两个方向推高成本。法兰的尺寸规格越大,所需原材料越多,制造过程中的锻造、切割、加工等环节的成本也会相应提高,包括更高的设备损耗和人力投入。
  • 刻蚀机是芯片制造中决定图形转移质量的核心设备,先进制程芯片需要经历多道刻蚀步骤。中微公司开发的5nm等离子体刻蚀机已通过台积电5nm量产线工艺验证,成为进入该产线的国产刻蚀设备。
  • 在配件品类之外,正芯微电子的产品列表还涉及清洗机及配件、石英加热缸,以及扩散炉、刻蚀机、CVD等设备的配套件。这一配套范围说明,丹东半导体设备的可采购品类并不局限于注入与蒸发两类设备,而是向清洗、扩散、刻蚀等相邻工艺环节延伸。
  • 丹东离子源配件与PVD设备配件的产品体系,在注入机、蒸发台与溅射台三类工艺设备之间形成了较为清晰的品类覆盖。以丹东正芯微电子为代表的配件企业,其公开产品线显示:注入机方向以离子源、弧光室、面板、灯丝、陶瓷绝缘件等为核心品类
  • 对于蒸发台坩埚而言,选择氮化硼方案还是高纯度石墨方案,需要考虑蒸发材料的化学特性与工艺条件。石墨材料在高温下易氧化、易与蒸镀的金属发生化学反应,可能导致坩埚开裂,影响使用寿命。
  • 蒸发台行星锅的工作原理与电子束蒸发台的整体结构密切相关。电子束轰击坩埚内的源材料,源内物质受热蒸发后进入行星锅空间。电机带动支架旋转,支撑臂的一端与支架固定,另一端与行星锅的转轴轴接,行星锅外缘设置的齿与轨道上的齿型凹槽啮合,使行星锅在轨道上自转。
  • 行星锅在真空镀膜设备中承担着承载基片并驱动其运动的功能,其公转与自转的复合运动方式直接影响膜层在基片表面的厚度分布。在电子束蒸发等镀膜工艺中,蒸发源发射的靶材粒子在空间中的分布并非完全均匀,若基片仅做单一方向转动,基片表面各点接收到的粒子量会出现差异。

1.jpg

2.jpg

联系方式
联系地址:辽宁省丹东市沿江开发区江湾工业园H区3号楼   联系电话:0415-3196990 
公司传真:0415-3196990   移动电话:139-42564601 
E-mail :zsunsale@163.com