半导体设备配件_注入机离子源配件_注入机离子源灯丝-丹东正芯微电子科技有限公司

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丹东正芯微电子科技有限公司成立于2006年，位于山川秀美的边境城市辽宁丹东。是一家历史悠久的生产、加工各种半导体工艺设备备品的高新民营企业。正芯微电子以客户至上为宗旨，以产品的高质量和高可靠性为目标，以优良的服务为天职。

We always place put our clients first.

以客户至上为宗旨

以产品的高品质和高可靠性为第一目标

以完美的服务为天职

新闻资讯

离子源弧光室对于离子刻蚀的意义
2026-02-07
离子源弧光室的核心意义的是提供稳定的电离环境，为离子刻蚀提供充足离子。它通过密闭腔体构建真空、高温工况，配合电极组件触发气体电离，生成高密度、高活性的等离子体，为后续离子加速、轰击基片提供基础，没有离子源弧光室的稳定运作，离子刻蚀便无法实现连续、高效的精密加工。
弧光室都由哪部分些组成
2026-02-07
腔体是弧光室的基础组成部分，也是整个结构的核心载体。腔体多采用耐高温、抗腐蚀的合金或陶瓷材质制成，外形常见圆柱形、方形等，主要作用是隔绝外部环境，构建真空电离空间，不让离子泄漏与外部杂质进入，同时承载内部各功能部件，是弧光室实现电离反应的基础支撑。
蒸发台配件中蒸发舟的原理与应用
2026-02-07
蒸发舟的核心工作原理围绕加热气化展开，作为蒸发台配件的关键组成，其通过自身通电加热或配合外部加热组件，将承载的蒸发材料加热至气化温度，使材料转化为蒸汽状态。
一文了解注入机离子源灯丝技术原理
2026-02-07
注入机离子源灯丝的核心技术原理围绕热电子发射展开。灯丝通电后，电能转化为热能，使灯丝温度升高至特定范围，此时灯丝表面的电子获得足够能量，克服金属逸出功脱离灯丝表面，形成热电子流，这是离子生成的基础步骤，也是注入机离子源灯丝发挥作用的核心机制。
质谱分析中的电子轰击时离子源灯丝的应用
2026-02-07
离子源灯丝的核心应用是发射热电子，触发样品电离。在电子轰击工况下，离子源灯丝通电加热至特定温度后，持续发射热电子，电子束高速撞击进入离子源的样品分子，打破分子化学键，使样品分子电离成正离子，为后续质谱仪的质量分析、信号检测提供核心离子信号，是电子轰击电离的起始关键步骤。