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丹东正芯微电子科技有限公司成立于2006年，位于山川秀美的边境城市辽宁丹东。是一家历史悠久的生产、加工各种半导体工艺设备备品的高新民营企业。正芯微电子以客户至上为宗旨，以产品的高质量和高可靠性为目标，以优良的服务为天职。

新闻资讯
  • 蒸发台法兰在真空蒸镀设备中的密封衔接作用
    2026-09-24
    实现模块化部件的密封衔接是蒸发台法兰的核心作用。真空腔体的主体拼接、抽气管路的连通、观察窗的装配，均通过蒸发台法兰配合密封圈完成密闭连接。
  • 刻蚀机等离子体源CCP与ICP的工作原理与适用场景
    2026-09-24
    在干法刻蚀设备中，依据腔室内产生等离子体的方式不同，主要分为容性耦合等离子体（CCP）和电感耦合等离子体（ICP）两类。刻蚀机选择何种等离子体源，需结合待刻蚀材料的特性、刻蚀深度要求以及工艺对选择比与形貌控制的需求综合判断。
  • 丹东半导体设备在晶圆制造薄膜沉积与蚀刻工序中的应用
    2026-09-24
    丹东半导体设备的应用表现直接关联晶圆生产的工艺效率与产品品质。晶圆制造涵盖光刻、蚀刻、薄膜沉积、离子注入等多道精密工序，对设备的工艺适配性、运行稳定性及参数调控能力有着严格要求。
  • 丹东离子源配件中离子注入用钨零件与钼零件的种类
    2026-09-24
    丹东离子源配件涵盖多种采用钨、钼材料制造的精密零件。在离子注入过程中，离子源内部的电子转换为电浆离子时会产生高温，一般金属在高温环境下容易烧熔，因此需要质量密度较大且高温性能稳定的惰性金属来维持离子束喷发方向并增加组件耐用度。
  • 蒸发台坩埚在分子束外延（MBE）系统中的应用
    2026-09-24
    蒸发台坩埚是分子束外延（MBE）系统中盛放高纯度源材料、并通过加热产生分子束的关键容器部件。MBE是一种在超高真空环境下将薄膜生长在基片上的蒸发方法，其核心装置是装有坩埚的热蒸发源。
  • 蒸发台行星锅选型中耐高温与化学稳定性材质的考量
    2026-09-20
    在真空蒸发环节，蒸发台行星锅需在高温环境下完成公转与自转运动，同时接触各类蒸发材料及工艺气体，若材质耐温性能不足或与沉积材料发生反应，可能导致部件自身损耗或膜层污染，直接影响制程稳定性与产品良率。
  • 行星锅公转与自转叠加运动对膜层均匀沉积的作用
    2026-09-20
    行星锅通过公转与自转两级旋转的叠加，持续改变粒子入射工件的角度与路径，从而对膜厚分布的均匀性产生调节作用。

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