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  • 08
    2026-07
    对于活性较强的镀膜材料,可优先选用氮化硼复合材质的蒸发舟,同时规范升降温流程,避免温度骤升骤降加剧材料侵蚀。
  • 08
    2026-07
    针对部分定制化程度较高的爱发科蒸发台配件,厂商还可支持来图、来样定制加工,进一步提升尺寸与结构的契合度。
  • 08
    2026-07
    采用科学运维方式养护的注入机钨栅,能够在满足制程束流要求的同时,有效拉长更换周期,帮助产线合理控制耗材成本与停机时间。
  • 08
    2026-07
    结合设备的真空等级与安装场景选配适配的蒸发台法兰,能够有效维持真空系统的运行稳定性,为蒸镀制程提供可靠的真空环境支撑。
  • 08
    2026-07
    适配该品牌机型的丹东半导体设备配件多采用高纯钨钼材质加工,能够匹配设备内部的高温环境与离子溅射工况。
  • 04
    2026-07
    丹东离子源配件主流适配范围覆盖多款进口品牌注入机机型,包括Axcelis旗下的NV系列、GSD系列大束流注入设备,Varian旗下的XP系列、VIISta系列注入设备,以及Applied Materials相关系列的注入机型。针对不同机型的弧光室、灯丝组件、栅极组件、引出电极等核心易耗部件,均可提供对应规格的替换配件,尺寸与安装接口参照原厂标准设计,可直接装机使用。这类进口设备配套的丹东离子源配件,多采用高纯钨钼等难熔金属材质,适配对应机型的高温运行工况。
  • 04
    2026-07
    蒸发台坩埚位于蒸发源系统的中心位置,镀膜材料从固态升温、熔融气化到最终形成蒸气流向工件沉积的完整过程,均以其为载体完成。
  • 04
    2026-07
    蒸发台行星锅的公转转速通常可在一定范围内调节,低转速适配厚膜沉积制程,高转速则多用于薄膜、多层膜的精密镀膜场景。
  • 04
    2026-07
    行星锅被广泛应用于光学镜片、电子元器件、装饰镀膜等各类真空蒸镀、溅射镀膜制程中。其采用的行星式运动结构,能够带动工件在镀膜腔体内沿中心轴公转的同时完成自身旋转,改变镀膜粒子入射工件表面的角度与路径,直接影响成品膜层的厚度均匀性、附着力与批次一致性。
  • 04
    2026-07
    适配光学镀膜设备的离子源弧光室多采用镜面抛光的内壁结构,减少膜料附着堆积,便于日常清洁维护。