进口溅射台防着板对保护腔壁提升良率的作用

进口溅射台防着板是安装在真空腔室内部、用于承接溅射过程中飞散物质的遮蔽件。它的直接作用对象是腔壁。靶材被离子轰击后释放出的粒子，除落到基板上，也有部分向四周飞散；如果没有遮挡，这些物质会逐渐沉积在真空室内壁。防着板挡在腔壁前方，让这些物质优先附着在自己表面。在PVD工艺中，腔室部件和遮蔽件上沉积膜累积到一定程度后可能发生剥落，剥落的碎片落到晶圆上会形成颗粒缺陷，而颗粒是影响晶圆良率的因素之一。进口溅射台防着板把沉积物集中在自己身上，使腔壁表面保持相对干净，腔壁因膜层过厚而剥落的风险也随之减少。

从维护节奏来看，防着板属于需要定期清洗或更换的部件。当它表面沉积到一定程度后，可以拆下处理，而腔壁的清洁通常间隔更长、操作也更复杂。进口溅射台防着板相当于把颗粒产生的主要来源之一从腔壁转移到了一个便于管理的部件上，日常维护时重点处理防着板，不必频繁对腔壁进行深度清理。

需要注意的是，防着板自身也要保持正常状态。如果表面的沉积膜已经出现疏松或剥离迹象而未及时处理，它也可能成为颗粒的来源。进口溅射台防着板对腔壁的保护和对良率的支撑，需要建立在按周期检查、清洗或更换的基础上。把防着板的状态纳入日常维护清单，才能让它在腔壁和晶圆之间发挥应有的遮蔽作用。