爱发科溅射台防着板是干什么用的？

爱发科溅射台防着板是安装在真空腔室内部、用来承接溅射过程中飞散物质的遮蔽部件。溅射成膜时，靶材被离子轰击后释放出的粒子除沉积到基板表面外，还会向四周飞散。如果没有遮挡，这些粒子会逐渐附着在腔体内壁、底部和基台周围的结构件上，积累到一定程度后可能剥落，形成颗粒污染。防着板的作用，就是让这些飞散物质优先沉积在可更换的遮蔽件上，而不是直接附着到腔室本体。它通常安装在溅射区域周围或钟罩内面，经过一段时间使用后可以拆下清洗或更换，从而减少腔体内壁和其他结构件被沉积物覆盖的程度。

除遮挡内壁外，防着板还参与限定沉积区域。它会在基板周边与盘形环等结构配合，形成物理隔断，减少溅射粒子绕入基台下方或进入非预期区域。爱发科溅射台防着板在这方面的作用，不限于挡在壁上，也包括对腔室内沉积路径的引导和限制。

从日常维护角度看，爱发科溅射台防着板把溅射过程中产生的附着物集中在自己表面，便于按使用情况清洗或更换。爱发科溅射台防着板通常被列为成膜装置的可选部件或维护件，作为设备日常保养和工艺配套的一部分使用。