电子束蒸发台行星锅的结构

蒸发台行星锅是电子束蒸发台的核心配套部件，其结构设计直接关联蒸镀镀膜的均匀性与工件加工效果，广泛适配半导体、光学等领域的精密镀膜场景，是电子束蒸镀过程中不可或缺的关键组件。该结构整体适配真空蒸镀环境，兼顾工件承载、运动调节与镀膜适配性，由多个协同工作的核心部件组成，各部分合理配合，既确保了运行过程的稳定性，也能适配不同规格工件的蒸镀需求，其结构设计贴合实际生产痛点，优化了传统行星锅的使用短板。

典型的蒸发台行星锅主要由本体、行星轴、驱动连接结构及载片辅助部件构成。本体多为锥筒型结构，锥筒部设有若干均匀分布的圆形通孔，用于安装载片环放置工件，部分型号还配有透气孔、安装孔等功能孔位；行星轴贯穿本体中心，通过转动架与蒸发台支架连接，可实现自转与往复摆动，驱动连接结构通过倾斜连接杆与驱动轴相连，调节本体倾斜角度以提升镀膜包覆性。

此外，蒸发台行星锅的载片辅助部件包含一体成型的载片环与配套盖板，可避免工件在运动中偏移摩擦，部分型号还设有角度监测相关组件，便于实时调节运行参数。整体来看，蒸发台行星锅的结构设计贴合电子束蒸镀的实际需求，各部件协同工作，既简化了操作流程，也能适配多种蒸镀工艺，为镀膜质量提供了有力支撑。