蒸发台配件中承载蒸发材料的配件有哪些

蒸发台配件中，承载蒸发材料的配件是真空蒸镀工艺的核心组成，直接决定蒸发材料的加热效率、气化均匀度，进而影响薄膜沉积品质，适配金属、氧化物、化合物等各类蒸发材料，广泛应用于半导体、光学元件、光伏等领域。这类配件需耐受高温、抗腐蚀，适配蒸发台真空工况，是蒸发台配件中不可或缺的功能品类，其选型与适配性直接关联工艺稳定性与生产效率。

坩埚是最核心的承载类蒸发台配件。按材质可分为石英坩埚、陶瓷坩埚、金属坩埚等，石英坩埚适配低熔点材料蒸发，陶瓷坩埚耐受中高温，金属坩埚（如钨、钼材质）适配高熔点金属蒸发，通过合理承载蒸发材料，配合加热组件实现均匀气化，是各类蒸发工艺的基础适配配件。

料舟与托盘是常用的辅助承载类蒸发台配件。料舟多为槽型结构，适配粉末、丝状蒸发材料，材质多选用耐高温合金或陶瓷，避免与蒸发材料发生化学反应；托盘则适配片状、块状材料，可灵活放置于蒸发台内，兼顾批量蒸发与物料固定，适配规模化蒸镀场景。

此外，定制化承载配件适配特殊需求。针对异形、微量蒸发材料，可选用定制化承载件，其结构与材质贴合具体物料特性，减少材料浪费与污染。这类承载配件与蒸发台其他部件协同运作，凸显蒸发台配件的品类多样性与适配灵活性，支撑不同规格蒸镀工艺有序推进。