离子源灯丝是离子源内部负责发射电子的易耗件,更换和安装是否得当,与灯丝的使用状态和离子源的运行情况都有关系。动手之前,先要确认设备已停止运行、相关电源已关闭,并等待灯丝和周围部件冷却到适合操作的温度。操作时佩戴洁净手套,避免手指直接接触灯丝和绝缘件。拆卸旧灯丝时避免用力过大,防止碰伤陶瓷绝缘件或密封结构。新灯丝在形状和安装接口上应与原件保持一致,安装时保持位置端正,不要与周围部件接触或距离过近。
安装新离子源灯丝时,将其装入离子源体对应的卡槽或安装位,用螺丝或卡扣固定,确认灯丝位置没有偏移。不同离子源结构的固定方式有所差异,有的采用卡口式插座配合旋转锁紧,有的通过螺母或压片固定,操作时按原结构的方式复位即可。固定力度适中,保证接触良好即可,不必过度拧紧。
离子源灯丝固定后,用万用表检查灯丝与离子源体之间是否存在短路,确认灯丝没有接地。这一步的作用是避免通电后因短路损坏灯丝或相关电路。随后将引线重新连接到灯丝引脚上,把离子源装回腔体,接好对应线缆。
复位之后,按规程对腔体抽真空。待真空度达到设备要求后,再准备给灯丝通电。如果设备支持灯丝除气,可在正式使用前缓慢升高灯丝电流,让灯丝表面吸附的水汽或挥发性物质在加热过程中脱附,然后再投入正常运行。离子源灯丝的安装步骤并不复杂,但每一步都关系到灯丝后续的工作状态,按流程逐项完成比事后排查更为省事。
