溅射台护板常用材质有哪些？

溅射台护板是PVD工艺中用于遮挡腔室内壁、承接溅射沉积物的部件，其材质选择通常要考虑耐等离子体轰击、耐温性以及是否会对工艺环境造成污染。半导体工艺腔室屏蔽组件涉及的材质包括金属、陶瓷和石英等。金属方向常见不锈钢和铝，不锈钢因结构强度和耐腐蚀性用于护板或屏蔽件，铝及铝合金则因导电和导热特性在部分结构中应用。陶瓷方向，氧化铝在PVD设备护板或屏蔽组件中公开提及较多，氮化铝也出现在部分屏蔽组件的材质选项中。石英也可作为护板或屏蔽件的可选材质，在某些工艺条件下替代阳极化铝材。

对于溅射台护板的材质选用而言，没有单一方案。金属材质侧重结构性与导电导热需求，陶瓷及石英材质更多见于对绝缘或耐蚀有相应要求的部位。实际选择需结合工艺气氛、沉积材料以及护板在腔室中的位置综合判断。因此，溅射台护板的材质选择需结合具体工艺条件与设备结构确定。