定制行星锅需要提供什么？

定制行星锅要让工装与现有设备、现有工艺彼此对上，哪些参数是绕不开的？标准规格的行星锅难以匹配老旧停产机型、特殊基片或非标工艺场景。因此，定制行星锅的过程，是把设备接口、运动方式与工艺条件逐项确认下来，再交由加工方按图制作。

安装接口与外形尺寸是首要确认的行星锅基础参数。需明确设备腔体的内部直径、中心传动轴的连接形式、法兰固定孔位分布与键槽规格，同时核对工装整体高度与避让空间，使行星锅能够顺利装入腔体并与传动结构稳定衔接，避免安装干涉或传动打滑。

行星锅结构形式与运动参数需结合工艺需求确认。包括工装结构类型、公转与自转的转速比例、基片卡槽的排布方式与单盘载片数量，以及动平衡校准要求。这类参数直接影响膜层厚度的分布状态，需与现有蒸发源位置、蒸镀工艺路径相匹配。

材质与表面处理参数同样需要明确。根据蒸镀介质类型与腔体工作温度选定基材，常用的有铝合金、不锈钢等，同时确认表面处理工艺，如硬质阳极氧化、镜面抛光等，以降低镀料附着强度，方便后续积料清理。

将这些参数梳理清楚，定制行星锅才能更好地适配现有设备与生产需求。