蒸发台配件坩埚的常见材质

蒸发台配件中，坩埚是核心承载部件，其材质选择直接关联蒸镀工艺的稳定性、工件镀膜质量及配件使用寿命，广泛适配半导体、光学、微电子等领域的真空蒸镀场景，是蒸发台配件中不可或缺的关键组件。作为蒸发台配件的核心耗材与功能部件，坩埚需长期承受高温、真空及蒸镀材料的腐蚀，因此其材质需具备优良的耐高温、耐腐蚀、材质纯净等特性，不同材质的坩埚适配不同的蒸镀温度与材料类型，合理选用材质，能有效提升蒸发台配件的整体运行效率，减少维护频次，适配各类精密蒸镀工艺需求。

目前市面上蒸发台配件坩埚的常见材质主要分为三类，核心材质均贴合蒸镀工艺的严苛要求。第一类是石英材质，具备良好的耐高温性和透光性，适配低温至中温蒸镀场景，适合镀制光学薄膜等产品，其材质纯净，可减少杂质污染，是应用较广泛的蒸发台配件坩埚材质。第二类是氧化铝材质，耐高温性能优于石英，且机械强度更强，可耐受更高温度的蒸镀工艺，适合半导体芯片等精密产品的蒸镀加工，适配高端蒸发台配件的运行需求。

第三类是石墨材质，具备优良的导热性和耐高温性，适配高温蒸镀场景，可快速传导热量、提升蒸镀效率，同时耐腐蚀性能突出，适合长期高频次运行，适配大型规模化生产的蒸发台配件需求。不同材质的坩埚各有适配场景，选用时需结合蒸镀温度、材料类型等因素，合理搭配能更好地发挥蒸发台配件的性能，助力精密蒸镀工艺有序推进。