蒸发台配件中密封类配件都有哪些

蒸发台配件中密封类配件是维系设备真空环境的核心组件，直接关系蒸镀工艺的稳定性与薄膜沉积质量，广泛适配半导体、光学器件、光伏等领域的真空蒸镀设备。这类配件需耐受高温、耐腐蚀且具备优良密封性能，覆盖腔体衔接、管路接口、部件间隙等全密封场景，是蒸发台配件中不可或缺的功能品类，其适配性直接影响设备运行效率与镀膜良率。

密封圈是应用最广泛的密封类蒸发台配件。按材质可分为氟橡胶密封圈、硅橡胶密封圈、金属密封圈等，氟橡胶款适配高温、强腐蚀工况，硅橡胶款适配中低温真空场景，金属密封圈则用于超高真空腔体衔接，通过压缩形变填充接口间隙，阻挡气体渗透，适配蒸发台腔体与盖板、管路与阀门的密封需求。

密封法兰与密封胶也属于核心密封类蒸发台配件。密封法兰搭配密封圈使用，用于大口径接口的密封衔接，比如蒸发台腔体与观测窗、进料口的连接，其结构设计需匹配接口尺寸，确保受力均匀以提升密封效果；密封胶多为高温真空专用款，用于填补配件缝隙、修复轻微密封缺陷，适配非承重部位的辅助密封。

此外，密封阀作为功能性密封配件，兼具通断控制与密封作用。这类配件通过阀芯与阀座的紧密贴合实现密封，可合理控制工艺气体管路的通断，同时阻止真空环境被破坏，适配蒸发台气体供给系统的密封需求，是蒸发台配件中兼顾功能与密封性能的重要部件。