半导体设备配件中机械类的配件有哪些

半导体设备配件中机械类配件是设备运行的核心结构支撑，覆盖晶圆制造、刻蚀、薄膜沉积等全工艺环节，凭借稳定的结构性能与适配能力，适配光刻机、蚀刻机、蒸发台等各类半导体设备。这类半导体设备配件品类繁多、功能针对性强，既包含传动、密封等基础部件，也涵盖高精度运动组件，其品质与适配性直接影响设备运行稳定性及芯片加工效果，是半导体产业链自主可控进程中的重要组成部分。

真空系统机械配件是核心品类之一。常见的有真空阀门、CF/KF法兰及金属密封圈，真空阀门用于控制管路通断与气体流量，法兰与密封圈则维持腔体密封性能，适配超高真空工艺需求，是半导体设备配件中维系真空环境的关键机械部件，广泛应用于蚀刻、蒸镀等工艺设备。

精密传动与支撑类机械配件不可或缺。角接触轴承、陶瓷滚子轴承等适配设备高速运转部件，能同时承受径向与轴向载荷，通过低发尘设计适配洁净环境；晶圆传输机械臂则实现晶圆在不同腔室间的平稳转运，其关节结构与运动精度适配规模化生产需求，是半导体设备配件中传动类的代表性部件。

此外，结构类机械配件包括真空腔体、静电卡盘、喷淋头等。真空腔体作为工艺执行核心空间，需具备耐高温、抗腐蚀特性；静电卡盘用于晶圆固定，喷淋头负责工艺气体均匀分布，这类半导体设备配件虽结构各异，但均为支撑设备正常运转、稳定工艺效果的基础部件。