蒸发台配件-电子枪的工作原理

蒸发台配件-电子枪是生产电子束的部件，由直线状螺旋钨阴极、栅极和阳极组成。加速电压采用负高压，阴极和栅极处于相同的负电位，阳极接地电位。阴极由交流供电加热，使之发射电子，电子受栅极电位的影响，在阳极电压加速下形成会聚的电子束。在X方向磁场的作用下，电子束得到进一步聚集并偏转射入装有被镀膜料的坩埚中，其动能变成热能使材料蒸发沉积于基片上，达到所需膜层的要求。

蒸发台配件-电子枪在蒸镀时，由于电子束中的电子与气体分子和蒸发材料的蒸汽发生碰撞产生的离子轰击带负电高压电极及其引线，即产生打火。电子束蒸镀设备的高压电源都附有高压复位装置，在打火时自动切断高压，然后又自动恢复，切断与恢复的时间越短，越不会影响蒸镀工艺。

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