蒸发台坩埚在蒸发工艺中承担重要角色,其各项指标符合要求与否,直接关联生产过程与最终产品情况。因此,一套科学、规范的检测标准,成为保障坩埚正常使用和生产顺利推进的重要依据。
外观检查是检测蒸发台坩埚的基础步骤。工作人员会仔细查看坩埚表面,确认是否存在裂缝、孔洞等明显问题。因为这些问题若不及时发现,在高温作业时可能导致坩埚损坏,影响生产进度。同时,表面的平整与光滑程度也需检查,以保证材料蒸发不受干扰。
尺寸测量对蒸发台坩埚而言至关重要。内径、深度、壁厚等尺寸数据,必须与设计规格相符。尺寸出现偏差,会使坩埚与设备配合不佳,造成蒸发过程中温度分布异常,影响后续薄膜制作的效果。
模拟实际工作条件对蒸发台坩埚进行性能测试,是验证其能否正常使用的关键。在高温测试中,观察坩埚在特定温度下有无变形;通过接触不同蒸发材料,检测其抗腐蚀能力。要经过多方面检测、符合标准的蒸发台坩埚,才能进入生产环节,助力蒸发工艺稳定开展。
