厚积薄发-辽宁跻身半导体设备配件产业头部阵营

在东北老工业基地辽宁，以半导体为主业的辽籍上市公司已有5家，若再加上新三板公司中科仪、现有业务囊括半导体装备业务的新松机器人、拟上市企业和研科技等，辽籍半导体设备配件和半导体产业集群已经初具规模。

据辽宁省半导体行业协会秘书长、富创精密董事长兼总经理郑广文介绍，早在本世纪初期，辽宁省相关政府部门、学界人士和企业家通过多次讨论达成共识，将半导体设备配件和半导体设备产业确定为发展方向，经过20多年的不懈努力，厚积薄发，如今终于迎来收获期。

据介绍，半导体产业链中游为整机设备制造商，目前辽宁省拥有芯源微、拓荆科技、仪表院等企业，可以进行薄膜设备、涂胶显影机、划片机等半导体整机制造和系统集成。半导体产业链下游主要应用于集成电路制造、封测企业，目前辽宁从事集成电路制造的企业主要是中电科第47所和仪表院等研究部门。

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