蒸发台坩埚常见损耗原因与修复方法

蒸发台坩埚在蒸发工艺中承担着盛放蒸发材料的重要角色，在高温、真空等复杂环境下持续作业，出现损耗属于常见现象。探究蒸发台坩埚常见损耗原因并掌握改善手段，对保障设备稳定运行、减少成本支出有重要作用。

蒸发台坩埚损耗，高温环境是一大影响因素。长时间处于高温状态，坩埚材质的物理化学性质会发生改变，例如晶格结构产生变化、材料出现一定程度的挥发，进而使得坩埚强度降低，甚至产生裂纹。同时，蒸发材料与坩埚材质间的反应也会造成损耗，部分蒸发材料具备腐蚀性，在高温下与坩埚接触，容易对坩埚内壁造成侵蚀。此外，在安装、拆卸、搬运等操作环节，若操作不规范，使坩埚受到机械碰撞，也会导致其表面出现划痕、缺口。

面对不同的损耗状况，可选择对应的改善途径。要是坩埚出现轻微裂纹，能够采用高温烧结，或者涂抹特定处理材料来处理；要是内壁存在侵蚀情况，可通过打磨、抛光去掉受损部分，再进行表面涂层处理，优化其性能。当蒸发台坩埚受损严重时，为了不影响蒸发工艺与设备稳定，需要及时更换。在日常使用过程中，重视对蒸发台坩埚的维护和监测，有助于减缓损耗速度，保证蒸发作业平稳开展。