蒸发台坩埚的材料与性能

蒸发台坩埚在半导体制造中起着举足轻重的作用，其材料的选择和性能的优劣直接影响着生产的质量和效率。

常见的蒸发台坩埚材料包括石英、陶瓷和石墨等。石英坩埚具有良好的耐高温性能和化学稳定性，能够在高温环境下保持结构的完整性，且不易与蒸发物质发生反应。陶瓷坩埚则具备较高的强度和硬度，能够承受一定的机械应力。石墨坩埚具有优异的导热性，能使热量快速均匀分布。

在性能方面，蒸发台坩埚的热稳定性至关重要。它需要能够承受高温蒸发过程中的剧烈温度变化，而不发生破裂或变形。良好的化学惰性也是关键，确保坩埚自身不会对蒸发物质造成污染。

蒸发台坩埚的密封性影响着蒸发过程中的真空度保持，从而影响薄膜沉积的质量。其形状和尺寸的精度也会影响蒸发物质的分布均匀性。

在制作高精度的半导体芯片时，对坩埚材料的纯度和性能要求极高。哪怕是微小的杂质或性能缺陷，都可能导致芯片的性能下降或失效。