蒸发台行星锅是干什么用的？以及它的工作原理

蒸发台行星锅通常指的是电子束蒸发台的高效行星镀锅装置，属于蒸镀技术领域。其作用是在蒸镀过程中，通过行星锅的转动，使基片能够均匀地接受蒸发物质的沉积，从而提高蒸镀的均匀性和质量。

在半导体制造中，蒸发台行星锅的主要作用是将蒸发物质均匀地分布到基材表面。蒸发物质可以是金属、半导体或其他材料，通过加热蒸发或电子束蒸发等方式产生蒸汽，然后蒸汽在行星锅内旋转，使得基材表面能够均匀地接触到蒸发物质，从而形成薄膜。

蒸发台行星锅的工作原理是： 蒸发物质被放置在蒸发源中，通过加热或电子束轰击等方式使其蒸发成为蒸汽。 蒸发的蒸汽被引入到蒸发台行星锅中，并在其中与基片接触。 在蒸发台行星锅的转动下，基片能够均匀地接受蒸发物质的沉积，从而提高蒸镀的均匀性和质量。 蒸镀完成后，蒸发物质和剩余的蒸汽被抽走，基片被取出进行后续处理。