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丹东正芯微电子科技有限公司成立于2006年,位于山川秀美的边境城市辽宁丹东。是一家历史悠久的专业生产、加工各种半导体工艺设备备品的高新民营企业,是半导体设备国产化的中坚力量。产品应用于美国、日本、台湾等国家的半导体设备国产化备件,并与国产设备厂商密切合作。公司有多位长期从事半导体行业的专业人员,聘请业内资深专家作为本公司顾问,并与多家科研单位建立长期合作关系。


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    注入机离子源灯丝是离子注入机的一个组成部分,它的主要作用是产生热电子。当注入机离子源灯丝加电后,产生的热电子在电磁场的作用下,获得足够的能量后撞击掺杂气体分子或原子,使之电离成离子,再经吸极吸出,通过聚焦成为离子束,然后进入束线部分。

离子源弧光室

蒸发台配件

蒸发台坩埚

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